產品介紹
PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD設備
產品介紹
PF-300T爲YABO亚博国际承擔國家“十一五”重大專項，自主設計研發的產品系列。設備已用於40-28納米集成電路的生產，具有14納米及以下技術的延展性，可實現所有相關介質薄膜的沉積。同時已延伸至先進膜技術，產品涵蓋了高刻蝕選擇比的ACHM硬掩膜、低介電常數的絕緣薄膜及NDC刻蝕阻擋層、超低介電常數的ULK薄膜，可滿足客戶多種技術節點要求。
產品特點
PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD設備
產品特點
- 可依客戶選擇配置1-3路液態源，實現多種先進工藝
- 具有優異的產能和CoO
- 可與8英寸兼容互相切換（PF-200T）
- 具備TSV所需的低溫（<200℃）TEOS SiO2工藝
- 通過S2安全認證和F47標準檢驗
