產品介紹
SA-300T , SA-200T
12英寸 , 8英寸SACVD設備
產品介紹
SA-300T系列是我公司自主研發的次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備，擁有自主知識產權。SACVD反應腔搭載在已通過量產驗證的高產能PECVD平臺上，充分實現設備對產能的需求。該設備主要應用在STI、PMD/ILD等，滿足Gap-fill的需求。
產品特點
SA-300T , SA-200T
12英寸 , 8英寸SACVD設備
產品特點
-高質量的TEOS SiO2和BPSG工藝
-可依客戶選擇配置1-3路液態源，實現多種先進工藝
-可與8英寸兼容互相切換（SA-200T）
-可搭載1-3個PM
-通過S2安全認證和F47標準檢驗
