產品系列

產品名稱

產品介紹
產品特點

產品介紹

FT-300T eX
12英寸Thermal ALD設備

產品介紹

FT-300T eX系列是我公司自主研發的熱原子層沉積（Thermal Atomic Layer Deposition）設備，以高產能PEALD設備核心技術爲基礎，針對金屬薄膜沉積的特殊性，對反應腔模塊及關鍵部件優化設計，實現成本更低，純度更高的金屬薄膜的沉積，可用於沉積AlOx/AlN/SnOx/TiN等多種金屬薄膜材料。在7nm及以下製程中有着廣泛的應用。