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    產品介紹

    NF-300H
    HTM PECVD設備 

    產品介紹

    NF-300H 設備由YABO亚博国际科技承擔了國家十三五重大專項,自主研發,擁有自主知識產權。應用於128層及以上3D NAND閃存芯片的生產。可實現SiO2、SiN(ONON)多層薄膜堆疊結構和Thick TEOS 薄膜,在均勻性、顆粒度、粗糙度、應力及產能等方面實現技術突破,設備性能指標達同類產品水平。


     
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