YABO亚博国际公司自主研製的國內首臺12英寸PEALD設備通過客戶驗收

        2018年9月底，由瀋陽YABO亚博国际科技有限公司自主研製的12英寸原子層沉積（Atomic Layer Deposition，ALD）設備FT-300T通過了客戶的驗收。

        ALD設備是集成電路製備過程中關鍵的薄膜沉積設備，被視爲先進半導體工藝技術發展的關鍵環節之一。YABO亚博国际公司基於已通過生產驗證的高產能PECVD設備平臺，成功研製了國內首臺量產型12英寸ALD設備FT-300T，並迅速推向市場，可應用於28nm以下極大規模集成電路，OLED及先進封裝（TSV）領域，投入28/14nm先進生產線，用於沉積SiO2，SiNx等絕緣薄膜。該設備已成功進入試生產線考覈驗證，歷時3個多月，通過了客戶的考覈驗收，設備各項性能指標均滿足要求，且達到或超過了國際同類產品的先進水平，這是我國在實現半導體高端裝備國產化進程中的又一重大突破。